वैक्यूम प्रौद्योगिकी में प्रमुख चुनौतियां

वैक्यूम सिस्टम में सबसे लगातार चुनौतियों में से एक हैआचरण करनाचैम्बर की दीवारों या घटकों के भीतर फंसी गैसों की क्रमिक रिलीज। सामान्य दोषियों में जल वाष्प, कार्बन डाइऑक्साइड और सतहों पर adsorbed कार्बनिक अवशेष शामिल हैं। यहां तक ​​कि इन गैसों की मात्रा का पता लगाने से वैक्यूम अखंडता से समझौता हो सकता है, विशेष रूप से यूएचवी सिस्टम (10⁻⁷ पीए से नीचे का दबाव) में।

• पकाना: फंसे गैसों की रिहाई में तेजी लाने के लिए चैंबर्स को 300 डिग्री से ऊपर के तापमान तक गर्म किया जाता है। यह प्रक्रिया, जिसे अक्सर अर्धचालक निर्माण में उपयोग किया जाता है, दरों को काफी कम कर देता है।
• कम आउटगासिंग सामग्री: स्टेनलेस स्टील, एल्यूमीनियम मिश्र धातुओं और सिरेमिक जैसी सामग्री को उनके न्यूनतम गैस सोखना के लिए पसंद किया जाता है। पॉलिमर और चिपकने वालों को उनकी उच्च बाहरी क्षमता के कारण बचा जाता है।

वैक्यूम सिस्टम में एक आदर्श सील बनाए रखना बेहद मुश्किल है। पारंपरिक रबर सील, गिरावट और गैस पारगमन के लिए प्रवण, यूएचवी शर्तों के तहत विफल हो जाते हैं। यहां तक ​​कि सूक्ष्म लीक भी प्रयोगों या औद्योगिक प्रक्रियाओं को बाधित कर सकते हैं।

• धातु सील: महत्वपूर्ण अनुप्रयोगों में तांबे, सोना या इंडियम सील का उपयोग किया जाता है। ये धातुएं एयरटाइट जोड़ों को बनाने के लिए विकृत हो जाती हैं, जो आउटगासिंग और थर्मल साइकिलिंग का विरोध करती हैं।
• हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री: लीक का पता लगाने के लिए सोने का मानक, हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर लीक की पहचान कर सकते हैं10⁻ pa pa · mic\/s। संदिग्ध लीक के पास इंजेक्ट किया गया हीलियम, का पता लगाया जाता है क्योंकि यह वैक्यूम में भाग जाता है, असाधारण संवेदनशीलता के साथ दोषों को इंगित करता है।